什么是潔凈室？潔凈室的狀態(tài)可分為幾種？
發(fā)布時間：2017-01-03 閱覽次數(shù)：1657 次
什么是潔凈室？潔凈室的狀態(tài)可分為幾種？
潔凈室也稱無塵室。它是污染控制的基礎(chǔ)，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在fed-std里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾，分配，優(yōu)化構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則操程序用于控制空氣懸浮粒度。從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。
潔凈室是指將一定空間 范圍內(nèi)空氣中的微粒子，有害空氣。細(xì)菌等污染物排出，并將室內(nèi)溫度，潔凈度，室內(nèi)壓力氣流速度與氣流分布，噪聲振動及照明，靜電控制在需求范圍內(nèi)而特別設(shè)計的房間。即 不論外在空氣條件如何變化，室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度，溫濕度及壓力等性能。
潔凈室最主要的作用在控制產(chǎn)品如硅芯片等所接觸的大氣潔凈度以及濕濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中被生產(chǎn)，制造此空間稱為潔凈室。按照國家國際慣例無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一?；覊m，而是控制在一個非常數(shù)量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中負(fù)合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)小的微乎其微，但是對于光學(xué)產(chǎn)品而言，哪怕一點(diǎn)點(diǎn)灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上無塵是必然的要求。
將每立方米徑小于0.3um的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的a級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于a級，這樣的高標(biāo)準(zhǔn)主要被運(yùn)用在一些高級的芯片的生產(chǎn)上，粒徑在5um級以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的ik級別。
潔凈室狀態(tài)分為以下三種，
（1）空態(tài)；已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室設(shè)施，它具備所以相關(guān)的服務(wù)和功能，但是在設(shè)施內(nèi)沒有操作人員操作設(shè)備。
（2）靜態(tài)；各種功能完備，設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室設(shè)施，但是設(shè)施內(nèi)沒有操作人員。
（3）動態(tài)；處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要可從事正常的工作。
